diX 高纯度的二甲苯类聚合涂覆薄膜
diX是日本第三化成株式会社(Daisan
Kasei Co., Ltd)所生产的Di-p-xylylene产品品牌(一般纯称Parylene涂覆膜)
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| 真空化学升华聚合方法(Chemical Vapor Deposition),
是于任何形状的部件在常温而无需加热亦能聚合一层绝对防止氧化,高绝缘度及无应力的表面涂覆薄膜方法。 |
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diX涂覆薄膜的特征
diX涂覆薄膜有特强的电气及机械特性,
另于防水份及腐食性液体的的保护能力更远胜同类的涂覆薄膜。
透过CVD方法diX能于细小的针孔内壁聚合成厚度均一的涂覆薄膜,
不论部品有多细小及外形有多复杂, diX亦能于常温条件下在部品表面聚合成极高紧密度的涂覆薄膜！ |
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diX升华聚合工序
CVD装置是由升华炉, 热分解炉及聚合缸所构成。
升华炉 : 粉状diX原料加热至180oC升华成气体。
热分解炉 : 气化diX被加热至650oC, 单体份子进行激烈的热分解作用。
聚合缸 : 热分解后的游离份子于部品表面聚合成微米厚度的高份子涂覆薄膜。 |
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diX特性
DAISAN KASEI公司有多种不同特性的Di-p-xylylene材料,
普遍被采用的有diX-C及diX-N。 |
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diX-C的份子式及聚合物的单体份子式
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diX-N的份子式及聚合物的单体份子式
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(一) 高纯度
DAISAN KASEI以独特的生产方法令diX系列产品能达至99%以上的高纯度,
远较市场中其他同类产品为高!
高纯度的优点:
(1) 减低杂质能使CVD设备运作时大大降低所产生的刺鼻气体,
如氯气等。
(2) CVD设备内不再因材料的杂质做成污溃及残渣留于升华室及热分解炉壁,
从而减低部品被杂质污染的机会。
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(二) diX-C涂覆薄膜的抗水蒸气透过性
因diX的高纯度特征能聚合成数微米厚极高紧密度的涂覆薄膜,
薄膜的抗水蒸气透过性远较其他同类涂覆膜高！
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气体透过性
| 气体透过性 |
Poly-Cl-PX
(diX-C) |
Poly-PX
(diX-N) |
环氧树脂
Epoxy |
硅酮
Silicone |
尿脂
Urethane |
| 氮(N2) |
1 |
8 |
4 |
- |
80 |
| 氧(O2) |
7 |
40 |
5-10 |
5 x 104 |
200 |
| 二氧化碳(CO2) |
8 |
215 |
8 |
3 x 105 |
3 |
| 氢(H2) |
110 |
540 |
110 |
4.5 x 104 |
- |
| Notes : |
Gas Unit: cm3-mil/100 in2
- 24hrs-atm (23oC)
Poly-Cl-PX : Poly-Chloro-p-xylylene
Poly-PX : Poly-p-xylylene |
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(三) 耐化学溶剂, 酸性液体及碱性液体的特性
测试方法: 把12.7μm厚的diX薄膜浸于不同种类的化学液体并量度体积改
变百分比。 |
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diX-C
|
diX-N
|
|
|
23oC
,
90 mins.
|
75oC
,
120 mins.
|
23oC
,
90 mins.
|
75oC
,
120 mins.
|
|
化学溶剂
|
|
Isopropyl alcohol (IPA)
|
0.1
|
0.2
|
0.3
|
0.3
|
|
Mixed Xylenes
|
2.3
|
3.3
|
1.4
|
2.1
|
|
Monochlorobenzene
|
1.5
|
2.0
|
1.1
|
1.7
|
|
Dichlorobenzene
|
3.0
|
1.4
|
0.2
|
0.3
|
|
Trichloroethylene
|
0.8
|
0.9
|
0.5
|
0.7
|
|
Freon
|
0.2
|
0.3
|
0.2
|
0.2
|
|
2.4 Pentanedione
|
1.2
|
1.8
|
0.6
|
0.7
|
|
Acetone
|
0.9
|
0.9
|
0.3
|
0.4
|
|
Pyridine
|
0.5
|
0.7
|
0.2
|
0.4
|
|
酸性液体
|
|
10% HCL
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
37% HCL
|
0
|
4.1
|
0.2
|
2.3
|
|
10% H2SO4
|
0.3
|
0.2
|
0.1
|
0.2
|
|
95% H2SO4
|
0.4
|
5.1
|
0.2
|
5.3
|
|
10% HNO3
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.2
|
|
71% HNO3
|
0.2
|
1.8(变黄)
|
0.2
|
碎成细屑
|
|
碱性液体
|
|
10% NaOH
|
0
|
0.5
|
0.1
|
0
|
|
10% NH4OH
|
0.2
|
0.4
|
0.3
|
0.4
|
|
其他工业用液体
|
|
Deionized Water
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
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| (四) diX涂覆薄膜的物理特性 |
| |
|
物理特性
|
单位
|
diX-C
|
diX-N
|
ASTM测试方法
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密度
(Density)
|
g/cm3
|
1.309
|
1.110
|
D1505
|
|
折射率
(Refractive index)
|
1.649
|
1.661
|
|
|
Tensile
modulus
|
Gpa
|
3.2
|
2.4
|
D882
|
|
抗拉强度
(Tensile strength)
|
psi
|
9800
|
6800
|
D882
|
|
Yield
strength
|
psi
|
9500
|
7250
|
D882
|
|
伸长率
|
破断值
|
%
|
270
|
30
|
D882
|
|
(Elongation)
|
降伏值
|
%
|
3.5
|
2.5
|
D882
|
|
洛式硬度
(Rockwell Hardness)
|
R80
|
R85
|
D785
|
|
摩擦系数
(Coefficient
of friction)
|
静止
|
|
0.29
|
0.25
|
D1895
|
|
动力
|
|
0.29
|
0.25
|
D1895
|
|
熔点
(Melting point)
|
oC
|
290.7
|
420
|
|
|
热膨涨系数
(Coefficient of linear expension)
|
1/oC
|
3.01 x
10-5
|
6.09 x
10-5
|
|
|
介电常数
(Dielectric
constant)
|
60 Hz
|
|
3.10
|
2.65
|
D150
|
|
1K Hz
|
|
2.83
|
2.65
|
D150
|
|
介电损耗正切值
(Dissipation
factor)
|
60 Hz
|
|
0.027
|
0.0002
|
D150
|
|
1K Hz
|
|
0.015
|
0.0002
|
D150
|
|
诱电强度
(dielectric strength)
|
V/mil
|
6900
|
7000
|
D149
|
|
固体电阻
(Volume resistivity) at 23oC,
50%RH
|
Ω·cm
|
6.9 x 1016
|
1.4 x 1017
|
D257
|
|
表面电阻
(Surface resistivity) at 23oC,
50%RH
|
Ω
|
2.2 x 1015
|
1.0 x 1013
|
D257
|
|
吸水率 (water absorption) 24 hrs
|
%
|
< 0.1
|
< 0.1
|
D570
|
|
水蒸气透过性 (Moisture vapor transmission)
(g-mil/1000in2 - 24hrs, 37oC,
90%RH)
|
0.016
|
1.6
|
D570
|
Notes: 1 mil = 1/1000 inch = 25.4 microns
|
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| 五) diX的耐热性 |
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|
连续使用的最高温度
|
|
一般情况
|
没有氧气环境
|
|
diX-C
|
120 - 130 oC
|
260 oC
|
|
diX-N
|
100 - 110 oC
|
240 oC
|
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| |
用途
锰锌及镍锌磁心 (MnZn and NiZn ferrite
core)
烧结钕铁硼磁石 (Sinter Neodymium Rare Earth Magnet)
高密度线路板 (High density assembled PCB)
医疗用导管及机器 (Medical Katheter, O-ring and equipment)
感应器 (Sensors)
橡胶部件 (Rubber parts) |
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真空化学升华聚合方法(Chemical
Vapor Deposition)
DACS系列是为彻合应用diX的特性而设计的自动化CVD生产设备。
主要设备特点及销售服务:
- 完全的涂覆工序教授
- 10组自动化压力及温度数控程式设定
- 压力与温度的相自动闭合环路控制
- 低运作成本
- 高稳定性
- 易于维修及保养 |
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DACS-0050H/0025H垂直型
用于锰锌, 镍锌磁心, 烧结钕铁及钐钴磁石等部品。
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DACS-0600V横卧型
用于高密度线路板, 医疗用导管和机器, 感应器及橡胶部件等。
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销售处 : 吉世科（香港）有限公司
担当人员 : 郭子齐
电话 : (852) 2311 8377
传真 : (852) 2366 0651
手机 : (852) 9408 3285
e-mail : enochk@kisco-hk.com.hk |
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